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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Candela 8520*二代集成式光致發(fā)光和表面檢測系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于對碳化硅和氮化鎵襯底上的外延缺陷進(jìn)行高*表征。采用統(tǒng)計(jì)制程控制(SPC)的方法來進(jìn)行自動(dòng)晶圓檢測，可顯著降低由外延缺陷導(dǎo)致的良率損失，*大限度地減少金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的工藝偏差，并增加MOCVD反應(yīng)器的正常運(yùn)行時(shí)間。
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