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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Zeta-388提供3D量測和成像功能，與集成防震臺(tái)和晶圓操作系統(tǒng)結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。該系統(tǒng)采用ZDot? 技術(shù)，可同時(shí)收集高分辨率3D形貌信息和樣品表面真彩色圖像。Zeta-388支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境，具有多模光學(xué)器件、易于使用的軟件、低擁有成本和SECS/GEM通信。
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