KLA 表面缺陷檢測系統Candela 8420系列

 　　Candela 8420是*種表面缺陷檢測系統，它使用多通道檢測和基于規則的缺陷分類，對不透明、半透明和透明晶圓(如砷化鎵、磷化銦、鉭酸鋰、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石和其他化合物半導體材料)提供微粒和劃痕檢測。 8420表面缺陷檢測系統采用了專有的OSA（光學表面分析儀）架構，可以同時測量散射強度、形貌變化、表面反射率和相位變化，從而對各種關鍵缺陷進行自動檢測與分類。只需幾分鐘即可完成全晶圓檢測，并生成高分辨率圖像和自動化檢測報告，同時附帶缺陷分類和晶圓圖。