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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
佳能新型i線步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-5550iZ2具備了高產(chǎn)能和Mix-and-Match OVL性能。FPA-5550iZ2設(shè)備搭載了Shot Shape Compensator (SSC) 鏡頭單元，能夠改善曝光區(qū)域內(nèi)Shot的縱橫倍率差以及鏡頭的失真形變。
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