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產品詳細說明
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發和生產環節的2D翹曲度和應力測量。D-600 包含*個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高*光學器件。
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