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VAT 蝶形控制閥61.3系列
  • VAT 蝶形控制閥61.3系列
  • 61.3 控制蝶閥提供出色的壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1 秒），它是 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的完美解決方
  • 2024-12-09 23:09  [瑞士]
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VAT 特高壓控制閘閥64.8 系列
  • VAT 特高壓控制閘閥64.8 系列
  • 　　64.8 UHV 控制閘閥系列專為在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或 EUV 等應(yīng)用中的超高真空工藝中進(jìn)行可靠、精確的控制和隔離而設(shè)計(jì)。它滿足
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VAT 對(duì)稱控制閥67.0系列
  • VAT 對(duì)稱控制閥67.0系列
  • 　　67.0 系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì)，用作下游控制和隔離閥。　　工藝室中的氣流特性直接影響工藝速度
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VAT 08.2 FV插入式閘閥系列
  • VAT 08.2 FV插入式閘閥系列
  • 　　08.2 插入式閘閥系列設(shè)計(jì)用于直接安裝在兩個(gè)連接管道之間，無需法蘭。優(yōu)點(diǎn)：它需要很少的空間。　　該閘閥采用VAT的專利VATL
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VAT 16.2 高壓擺式隔離閥系列
  • VAT 16.2 高壓擺式隔離閥系列
  • 　　16.2 HV 擺式隔離閥提供可靠的隔離性能以及低顆粒計(jì)數(shù)和低顆粒激活。卓越的顆粒性能是通過異常平穩(wěn)的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)的。
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VAT 真空蝶閥系列
  • VAT 真空蝶閥系列
  • 　　20.3 VATTERFLY 閥門的關(guān)鍵要素是特殊的 VATterfly 技術(shù)。VATTERFLY 關(guān)閉機(jī)構(gòu)的操作方式與傳統(tǒng)蝶閥技術(shù)顯著不同。在關(guān)閉循環(huán)
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VAT 25.1 高壓氣缸閥系列
  • VAT 25.1 高壓氣缸閥系列
  • 　25.1 HV 氣缸閥系列設(shè)計(jì)用于具有腐蝕性和攜帶顆粒氣體的惡劣工藝環(huán)境，例如次晶圓廠工藝。它的布局可實(shí)現(xiàn)*大電導(dǎo)，并可采用內(nèi)
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VAT 25.7 高壓快速切斷閥系列
  • VAT 25.7 高壓快速切斷閥系列
  • 　　現(xiàn)代截止閥的主要要求是在任何回流事件時(shí)都能可靠且快速地緊急隔離。25.7 旨在提供靈敏、高速的隔離功能，可靠地防止回流到
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VAT 54.1 UHV/XHV 全金屬角閥系列
  • VAT 54.1 UHV/XHV 全金屬角閥系列
  • 　　54.1 全金屬角閥配備了 FLEX VATRING，*種硬對(duì)硬密封技術(shù)。這種動(dòng)態(tài)的全金屬密封系統(tǒng)的特點(diǎn)是*致的密封和恒定的關(guān)閉力。它可
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VAT 79.0 特高壓擋束器系列
  • VAT 79.0 特高壓擋束器系列
  • 　　光束限位器的主要要求是可靠的作用限位機(jī)構(gòu)。　　79.0 光束阻擋器系列可在 UHV 和 XHV 應(yīng)用中提供可靠的能量輻射保護(hù)。帶有
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VAT 高壓控制閘閥64.2 系列
  • VAT 高壓控制閘閥64.2 系列
  • 　　64.2 HV 控制閘閥專為高循環(huán)真空工藝（例如半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或蝕刻工藝）中可靠、精確的控制和隔離而設(shè)計(jì)。它滿足耐用性、
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VAT 高壓擺式控制閥65.3 系列
  • VAT 高壓擺式控制閥65.3 系列
  • 　　65.3 變壓控制閥為下游壓力控制和隔離設(shè)立了新標(biāo)準(zhǔn)。該系列變壓控制閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的電導(dǎo)范
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VAT 01.0 迷你特高壓閘閥系列
  • VAT 01.0 迷你特高壓閘閥系列
  • 　　01.0 迷你特高壓閘閥系列采用 VAT 的專利 MonOVAT 技術(shù)，該技術(shù)專門開發(fā)用于提供可靠的閘門密封，無任何摩擦。憑借 MonOVAT
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VAT 09.1 帶保護(hù)環(huán)的高壓閘閥系列
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VAT 大FV閘閥19.0系列
  • VAT 大FV閘閥19.0系列
  • 　　19.0 大型閘閥系列專為需要超大尺寸的應(yīng)用（例如空間模擬應(yīng)用）提供可靠隔離而設(shè)計(jì)。該系列設(shè)計(jì)直徑*大為 DN 1250 mm (50)，
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VAT 蝶閥21.0FV系列
  • VAT 蝶閥21.0FV系列
  • 　　21.0 FV 蝶閥提供與標(biāo)準(zhǔn)閘閥相同的可靠真空隔離，并具有占地面積要求較低的優(yōu)點(diǎn)。蝶形原理與緊湊型執(zhí)行器設(shè)計(jì)相結(jié)合，允許在
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VAT 26.4 高壓角閥系列
  • VAT 26.4 高壓角閥系列
  • 　　角閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是可靠性和可變性。26.4 HV 角閥系列同時(shí)滿足這兩個(gè)要求。26.4 系列在各種工藝條件下經(jīng)過數(shù)千個(gè)要求嚴(yán)格
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VAT 高壓閘閥11.1 系列
  • VAT 高壓閘閥11.1 系列
  • 　　11.1 HV 閘閥系列配備了專門開發(fā)的 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，閘板密封處不會(huì)產(chǎn)生任何摩擦。由于關(guān)閉終端位置的機(jī)械
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VAT 75.0特高壓快關(guān)閥系列
  • VAT 75.0特高壓快關(guān)閥系列
  • 　　快速關(guān)閉閥的主要要求是在出現(xiàn)空氣涌入時(shí)能夠快速可靠地做出反應(yīng)。由于泄漏而失去 UHV 或 XHV 環(huán)境，特別是在加速器或存儲(chǔ)環(huán)
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VAT 02.4 帶 MONOVAT 的大型輸送閥系列
  • VAT 02.4 帶 MONOVAT 的大型輸送閥系列
  • 　　配備 MonOVAT 的 02.4 大型輸送閥專為滿足高真空條件下有機(jī)材料氣相沉積系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)。02.4 專為高循環(huán)生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)
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