產(chǎn)品描述
馗鼎納米科技以數(shù)十年優(yōu)越的等離子設(shè)備制造能力結(jié)合等離子源及電源供應(yīng)器設(shè)計、等離子診斷技術(shù)、設(shè)備自動化推出智能電暈*化設(shè)備POL-57A為批次式等離子*化設(shè)備適用于處理壓電薄膜*化制程,搭配人機接口容易操作、具有抑制電弧能力、智能制程診斷功能。
產(chǎn)品特點
可搭配機械手臂自動取放片
*鍵全自動操作,效能更穩(wěn)定
可編程且模塊化流程設(shè)定: 設(shè)備動作及制程參數(shù)設(shè)定容易,研發(fā)或生產(chǎn)皆宜
獲多項專利的智能制程: 加裝多項傳感器實時監(jiān)控制程數(shù)據(jù),以便紀錄制程穩(wěn)定性、異常預(yù)測、等