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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
高速?zèng)_程
高速?zèng)_程 (FS-80N*高達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力工況。
無(wú)污染設(shè)計(jì)
過(guò)流端采用氟樹脂無(wú)污染構(gòu)造，使用獨(dú)有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng)專利)。
高流量及高吐出壓力
*大吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過(guò)程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗及CMP制程。
傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
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