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EDWARDS 鈦離子泵系列
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EDWARDS
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英國
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最后更新:
2024-12-09 22:53
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公司基本資料信息
產品詳細說明
也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵,是使用陽 /陰 陣列電離氣體的捕獲泵。離子濺射反應性陰 材料,產生將電離氣體轉化為固體化合物的化學反應。這些化合物不再有助于真空系統的壓力,并被永久捕獲在離子泵內。離子泵可以在 10
-5
到 10
-12
mbar 的范圍內運行,氮氣的大小范圍為 0.2 到 1,200 l/s。
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