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產(chǎn)品詳細說明
SBPR 系列低于大氣壓的背壓調(diào)節(jié)器旨在提供精確的上游真空控制。
這方面的 個例子可以是將正壓的樣氣引入真空室。該腔室的下游將是 SBPR 和真空泵。正壓將在腔室中建立，導(dǎo)致 SBPR 打開并允許腔室返回所需的真空。然后 SBPR 將關(guān)閉并重復(fù)該過程。由真空輔助彈簧輔助的大直徑隔膜為用戶提供 佳的低于大氣壓控制的靈敏度。
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