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產(chǎn)品詳細(xì)說明
VaporSorb CMP 化學(xué)空氣過濾器可針對 22 nm 及以下的各種空氣分子污染物提供全面保護(hù)。保護(hù)工藝設(shè)備和晶圓免受空氣分子污染的破壞性影響
防止 22 nm 及以下波長的 AMC
平衡介質(zhì)混合物以針對酸性污染物
去除關(guān)鍵的酸、堿和有機(jī)物，以降低污染風(fēng)險(xiǎn)
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