KLA 納米壓痕儀InSEM HT系列

 　　InSEM HT（高溫）通過在真空環境下獨立加熱壓頭和樣品測量高溫下的硬度、模量和剛度。InSEM HT與掃描電子顯微鏡 (SEM) 及聚焦離子束 (FIB) 室或獨立真空室兼容。InView軟件可幫助高*研究人員開發新實驗?？茖W出版物顯示，InSEM HT的結果與傳統大尺度高溫試驗數據匹配良好。擁有較大的溫度范圍能力和較低的擁有成本，這種組合使 InSEM HT成為材料開發研究中的寶貴工具。