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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
Brooks壓力控制器SLA7840系列
SLA7840 金屬密封壓力控制器和流量計(jì)
高純度流路， 高的可重現(xiàn)性、穩(wěn)定性和響應(yīng)速度
型號(hào) SLA7840
布魯克斯 SLA7840 型設(shè)備為高純度金屬密封儀器，可同時(shí)控制壓力并測(cè)量流速。遠(yuǎn)程壓力傳感器信號(hào)輔以可調(diào)節(jié)積分 PID 控制元件和共面控制閥可將壓力維持在目標(biāo)值。相較于其他金屬密封控制器，共面閥可降低壓力變化產(chǎn)生的影響并降低泄漏速度，從而使設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間使用的條件下更加穩(wěn)定。
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