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產品詳細說明
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
行業
半導體制造工序（后工序）
氮氣清洗關聯元件
【樹脂閥體型】
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
接頭快插式彎管、快插式直管、螺紋旋入式彎管、螺紋旋入式直管的4種可選擇。
2通閥可直接連接，能節省空間。可調整流量的針閥于針閥 體型也更能節省空間。
【不銹鋼閥體型】
1個FSM3能夠對應空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳和混合氣的5種氣體。
氧氣專用的禁油規格也有。
JXR接頭型，2種雙卡套接頭型的2種街頭和螺紋旋入式的共3種可選擇。
【高精度?高響應】
壓力損失因再設計流路而比舊型減少 大50%。
流向可選單向（正向和逆向的2種）和雙向的3種類。
響應時間：50msec
【IO-link可實現工廠自動化】
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