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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
64.8 UHV 控制閘閥系列專為在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或 EUV 等應(yīng)用中的超高真空工藝中進(jìn)行可靠、精確的控制和隔離而設(shè)計(jì)。它滿足耐用性、模塊化、密封性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，特別注重高正常運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。
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