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產(chǎn)品詳細(xì)說明
快速關(guān)閉閥的主要要求是在出現(xiàn)空氣涌入時(shí)能夠快速可靠地做出反應(yīng)。由于泄漏而失去 UHV 或 XHV 環(huán)境，特別是在加速器或存儲(chǔ)環(huán)等大體積中，可能會(huì)導(dǎo)致污染和恢復(fù)所需真空水平方面的重大問題。
75.0 UHV 快速關(guān)閉閥系列可在壓力升高時(shí)通過快速關(guān)閉反應(yīng)來保護(hù)真空水平。該系列以低于 10 毫秒的時(shí)間（取決于閥門直徑）以*快的速度關(guān)閉真空管路。關(guān)閉后，閥門密封性 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒對(duì)于防止損壞程度都很重要，因此 75.0 設(shè)定了保護(hù)基準(zhǔn)。
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