自成立以來 直以創(chuàng)新制勝
創(chuàng)立于 1946 年：第二次 大戰(zhàn)結(jié)束后第 個完整的和平年； 上第 臺計算機(jī) ENIAC 誕生；“自動化” 詞才開始使用。Stephen A. Brooks 成立 Brooks Rotameter Company，在賓夕法尼亞州蘭斯代爾開始運(yùn)營。
這 新公司的優(yōu)勢是以轉(zhuǎn)子流量計結(jié)構(gòu)的創(chuàng)新側(cè)板、定位銷釘原理為基礎(chǔ)。該優(yōu)質(zhì)儀器從始至終都能夠提供可靠的結(jié)果，我們不懈追求的這項技術(shù)幫助行業(yè)轉(zhuǎn)變了測量和控制基本過程的方式，因此也成為我們寶貴的傳統(tǒng)。
成長的催化劑
在不斷發(fā)展并取得成功的七十年中，布魯克斯儀器開發(fā)了多項具有顛覆性的流體測量和控制技術(shù)，例如耐用的流線型 Sho-Rate® 變面積流量計。該流量計于 1958 年 次推出，1965 年 3 月 NASA 將其用于雙子座太空計劃中的太空服泄漏測試。
從那時起，加入布魯克斯儀器大 庭的公司在我們的創(chuàng)新傳統(tǒng)中發(fā)揮著同等重要的作用。Tylan General 和 UNIT Instruments 等突破性的質(zhì)量流量技術(shù)創(chuàng)新公司與布魯克斯儀器同心協(xié)力，決心成為改變質(zhì)量流量技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用的促進(jìn)者。
釋放質(zhì)量流量潛力
我們的傳統(tǒng)包括推出并不斷推進(jìn)質(zhì)量流量測量和控制，這項技術(shù)在創(chuàng)造推動數(shù)字 域發(fā)展的 半導(dǎo)體工業(yè)方面發(fā)揮了重要作用。
20 世紀(jì) 70 年代，隨著 Tylan FC-260 的推出，質(zhì)量流量控制器 (MFC) 次在阿波羅飛船上用于精確測量氧氣流量，這是半導(dǎo)體制造商 次將過程氣體自動控制應(yīng)用到自己的工具之中，實現(xiàn)了工業(yè)規(guī)模的吞吐率和產(chǎn)量。
1980 年，UNIT Instruments 推出了 UFC1000，它提供了 種響應(yīng)更快、更安全的常閉 MFC 閥，更適用于刻蝕等要求苛刻的工藝。90 年代初至中期，布魯克斯儀器發(fā)布的 款金屬密封 MFC (5850EM) 具有更高的可靠性和耐氣體腐蝕性，同時還發(fā)布了具有更高精度和易于集成到處理工具的 款全數(shù)字 MFC。
質(zhì)量流量裝置增加的每項創(chuàng)新或技術(shù)特征都圍繞 個基本目標(biāo)：幫助制造商將工藝結(jié)果的精度和準(zhǔn)確度提高到 個新的水平。
增強(qiáng)應(yīng)用性能
我們的技術(shù) 直不只是促進(jìn)我們所服務(wù)行業(yè)取得突破的催化劑。我們還致力于不斷提高其在實際應(yīng)用中的性能，從而提高流程靈活性，提供更廣泛的儀器選擇，以及滿足獨(dú)特的操作需求。
例如，1998 年，布魯克斯儀器發(fā)布了 Mf 系列，這是 個不受氣候影響和適合危險區(qū)域的 MFC，使技術(shù)能夠勝任戶外的沖洗/軟管沖洗應(yīng)用和危險區(qū)域使用。布魯克斯儀器還推出了 款基于 Coriolis 的微型 MFC，顯著提高了低流量液體測量和控制的精度。
21 世紀(jì)初，針對特定 域出現(xiàn)了多項創(chuàng)新：
- 緊湊型表面貼裝 MFC 的推出，使原始設(shè)備制造商能夠減少氣體面板尺寸多達(dá) 60%，從而節(jié)省制程設(shè)備周圍的寶貴空間。
- 隨著 款數(shù)字電容式真空計的推出時，真空測量進(jìn)入了新的時代。
- 2001 年，MultiFlo® 質(zhì)量流量技術(shù)為熱質(zhì)量流量計和流量控制器用戶提供了對不同氣體和流量組合輸送進(jìn)行編程的能力，所有這 切都通過 臺裝置實現(xiàn)
- 2004 年，Celerity Instrumentation（前身為 UNIT Instruments）發(fā)布了 款抗壓力瞬變(PTI) MFC——IFC125，具有市場 的響應(yīng)時間和進(jìn)口壓力變化補(bǔ)償。
秉持創(chuàng)新傳統(tǒng)
2009 年，布魯克斯儀器收購了 Celerity Instrumentation 公司，其中包括 Tylan、Mykrolis 和 UNIT Instruments 等行業(yè) 制造商的技術(shù)傳承。我們基于以這些技術(shù)傳承為基礎(chǔ)不斷在如下多個方面取得進(jìn)展：
- GF100 系列：用于半導(dǎo)體行業(yè)的多功能通用 MFC 平臺，融合了 MultiFlo®、PTI 等 進(jìn)技術(shù)，設(shè)定了精度、性能和長期價值的行業(yè)標(biāo)桿。
- GF135 MFC：第 款集成了實時流量誤差檢測的 MFC，使半導(dǎo)體制造商能夠驗證工藝氣體的準(zhǔn)確性，檢查閥門泄漏和實時監(jiān)測傳感器穩(wěn)定性，無需從氣體管線上拆除流量控制器。
- MT3809 VA 流量計：現(xiàn)在配有改進(jìn)的變送器和 HART 7 功能，以及可就地操作的數(shù)字 LCD 顯示屏，修改參數(shù)無需拆卸蓋子，也就是說即使在危險區(qū)域也可以更改參數(shù)。
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